Precyzyjny pomiar grubości wafli krzemowych
Pojemnościowe czujniki przemieszczenia są wykorzystywane do dokładnego pomiaru grubości wafli.
Dwa przeciwległe czujniki wykrywają grubość, a także określają inne parametry, takie jak ugięcie lub ślady cięcia.
Położenie płytki w szczelinie pomiarowej może się zmieniać.