Pozycjonowanie z dokładnością do nanometra w maszynach litograficznych
Aby oświetlić poszczególne elementy na płytce, urządzenia litograficzne przesuwają płytkę do odpowiedniej pozycji.
Pojemnościowe czujniki przemieszczenia mierzą pozycję ścieżki przesuwu, aby umożliwić pozycjonowanie z nanometrową dokładnością.