Rozpoznawanie i pomiar nierówności na płytkach krzemowych
Konfokalno-chromatyczne czujniki przemieszczenia firmy Micro-Epsilon są stosowane do kontroli wypukłości.
Generują one niewielką plamkę światła na płytce, jednocześnie niezawodnie wykrywając najmniejsze części i struktury w wysokiej rozdzielczości.
Dlatego kształt i wymiary wypukłości są precyzyjnie mierzone do celów stykowych.