Pomiar wysokości wypukłości płytki
Do tej pory małe nierówności o wielkości od 50 do 350 µm były zwykle kontrolowane przez systemy kamer podczas produkcji.
Decydującą wadą tej metody jest to, że sprawdzana jest tylko obecność lub położenie. Wysokość można określić tylko w trybie offline, za pomocą przekrojów wykonanych za pomocą mikroskopu pomiarowego.
Dlatego stosuje się tu konfokalno-chromatyczne czujniki firmy Micro-Epsilon.
Dokonują one precyzyjnych pomiarów na błyszczących i ustrukturyzowanych powierzchniach chipów komputerowych.
Dzięki zogniskowanej plamce światła osiągana jest również wysoka rozdzielczość boczna wynosząca około 4 µm.