IMS5600-DS Interferometr światła białego

Nowy interferometr światła białego IMS5600-DS służy do pomiarów odległości z najwyższą precyzją. Sterownik oferuje specjalną kalibrację z inteligentną oceną i umożliwia pomiary absolutne z rozdzielczością  poniżej nanometru.

Interferometr jest używany do zadań pomiarowych o najwyższych wymaganiach dokładności, np. w produkcji elektroniki i półprzewodników.

Właściwości:

• Pomiar odległości z dokładnością poniżej nanometru
• Najlepsza w swojej klasie: rozdzielczość <30 pikometrów
• Pomiar absolutny, odpowiedni dla profili stopni
• Kompaktowe i wytrzymałe czujniki o dużym offsecie
• Częstotliwość pomiaru do 6 kHz dla pomiarów z dużą prędkością
• Ethernet, EtherCAT, RS422
• Łatwa konfiguracja za pomocą interfejsu internetowego
• Czujniki i przewody odpowiednie do próżni

Absolutny pomiar odległości z dużym zakresem pomiarowym i offsetem

IMS5600-DS służy do bardzo precyzyjnych pomiarów przemieszczenia i odległości. System zapewnia bezwzględne wartości pomiarowe i dlatego może być również używany do pomiaru odległości profili stopni. Dzięki pomiarowi absolutnemu próbkowane są stopnie z dużą stabilnością sygnału. Podczas pomiaru na poruszających się obiektach można w ten sposób niezawodnie wykryć różnice wysokości, stopni i wgłębień. System pomiarowy oferuje rozdzielczość poniżej nanometra z dużym offsetem w stosunku do zakresu pomiarowego.

 

Zaprojektowany do pomiarów odległości o wysokiej rozdzielczości w próżni

Interferometry IMS5600-DS mogą być używane do zadań pomiarowych w próżni i pomieszczeniach sterylnych, gdzie osiągają rozdzielczość w zakresie subnanometrów. Do zastosowań próżniowych Micro-Epsilon oferuje specjalne czujniki, przewody i akcesoria przepustowe. Te czujniki i przewody są w znacznym stopniu wolne od cząstek stałych i mogą być używane w pomieszczeniach sterylnych i UHV.

Stabilne pomiary odległości z najwyższą precyzją

Sterownik można zamontować w szafie sterowniczej poprzez montaż na szynie DIN i zapewnia bardzo stabilne wyniki pomiarów dzięki aktywnej kompensacji temperatury i pasywnemu chłodzeniu. Te kompaktowe czujniki zajmują wyjątkowo mało miejsca i mają bardzo elastyczne przewody światłowodowe.

Długości przewodów do 10 m pozwalają na oddzielenie czujnika i sterownika. Czujnik można łatwo i szybko ustawić dzięki zintegrowanemu laserowi z celownikiem. Uruchamianie i parametryzacja odbywa się wygodnie poprzez interfejs sieciowy i nie wymaga instalacji oprogramowania.

Pomiar na wielu powierzchniach
Interferometryczna metoda pomiarowa umożliwia pomiary na wielu powierzchniach. Umożliwia to bardzo precyzyjne pomiary odległości na metalach odbijających światło, tworzywach sztucznych i szkle.